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晶盛机电近日接受机构调研时表示,公司基于功率半导体领域开发了碳化硅长晶设备、切片设备、抛光设备及外延等设备。公司生产的碳化硅外延设备已实现批量销售,产品质量获下游客户一致好评。2月4日,公司6英寸双片式碳化硅外延设备新品发布会圆满落幕,标志着晶盛机电在第三代半导体领域取得重大突破。该产品历时两年的研发、测试与验证,在外延产能、运营成本等方面已取得国际领先优势,与单片设备相比,新设备单台产能增加70%,单片运营成本降幅可达30%以上,助力客户创造极大价值。
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